반도체 장비용 고정밀 샤워헤드·챔버 부품 공급

동원파츠는 반도체·디스플레이 장비에 들어가는 고정밀 부품과 모듈을 제조·공급합니다. 대표 제품은 샤워헤드와 챔버부품으로, LAM Research·세메스·AXCELIS 등 글로벌·국내 장비사를 고객으로 두고 있습니다. 고객 도면 기반의 맞춤 제작과 조립품 공급으로 장비의 공정 안정성과 수율 유지에 기여합니다.

수익모델

정밀 부품·조립품 판매 및 개발·기술용역 수익

고객

글로벌 및 국내 반도체 장비 제조사(세메스, LAM Research, AXCELIS 등)

• 샤워헤드37.4%

  증착·식각 장비에서 공정가스를 균일하게 분사해 박막 형성 및 공정 균일성을 확보하는 핵심 소모품입니다.

  증착·식각 공정에서 가스 분사 및 공정 균일화
• 챔버부품32.8%

  챔버 내부·외부의 브라켓·플레이트 등으로 장비 구조를 지지·체결해 공정 환경과 장비 안정성을 유지합니다.

  장비 챔버 구성·지지로 공정 환경·구조 안정성 유지
• 조립품12.5%

  여러 정밀가공품을 조립해 유로·냉각·밀폐·지지 기능을 통합한 모듈로 장비에 바로 장착되는 복합 기능성 제품입니다.

  공정 유로·냉각·밀폐 등 복합 기능 모듈 제공
• 스핀척8.1%

  웨이퍼를 고정·회전시켜 세정액과 DI Water의 균일 분포 및 건조를 지원해 세정 공정 품질을 확보하는 부품입니다.

  웨이퍼 세정·건조 과정에서 고정·회전·정밀 제어

• 램리서치 향 납품액과거 수치이전 단계50억원(2016), 100억원(2017)
  2016~2017hankyung.com

주요 고객사

기업 개요

업종

특수 목적용 기계 제조업

대표

조덕형

설립

1997-05-30

본점

경기도 시흥시 공단1대로80번길 140

영문

Dongwon Parts Co., Ltd.