디스플레이·반도체용 정전척 제작·재생서비스

이에스티는 디스플레이와 반도체 제조공정에서 쓰이는 정전척(ESC)을 설계·제작하고 재생(수리·재가공) 서비스를 제공합니다. 대표 제품으로는 대면적 OLED용 APS Coating Type ESC와 모바일 모듈용 PI Film Type ESC가 있습니다. 주요 고객은 삼성디스플레이와 장비사(어플라이드 머티어리얼즈 등)로, 고객 공정에 맞춘 맞춤형 정전척 토탈 솔루션을 제공합니다.

수익모델

신규 정전척 제품 판매 + 재생(수리·재가공) 서비스

고객

디스플레이 패널사(예: 삼성디스플레이) 및 반도체 FAB·장비사(어플라이드 머티어리얼즈 등)

• APS Coating Type ESC61.26%

  초대면적 APS 타입 정전척으로 IT OLED 증착·스퍼터·레이저드릴 공정에서 대형 유리기판을 평탄하게 흡착·고정합니다.

  대형 OLED 패널의 증착·식각 공정에서 기판 고정 및 평탄도 유지
• PI Film Type ESC14.57%

  PI 필름 기반 정전척으로 스마트폰·태블릿 등 모바일 OLED 모듈 공정에서 소형 기판의 평탄도와 공정 안정성을 확보합니다.

  중소형 모바일 OLED 모듈 공정에서 기판 흡착·고정 및 재생 대응
• 멀티존 Embedded Type Conductor ESC17.90%

  전극부 및 히터가 세라믹 내부에 내장된 멀티존 임베디드 구조의 반도체용 ESC로 정밀 온도 제어가 가능합니다.

  첨단 반도체 식각·증착 공정에서 웨이퍼 고정과 멀티존 온도 균일도 제어
• GC Sinter G2.5F Glass Core ESC6.26%

  Advanced Package 유리기판 제작용 2.5세대 Dry Etcher에 적용되는 하이엔드 글라스코어 정전척입니다.

  첨단 패키징용 유리 기판의 건식 식각 공정에서 고온·플라즈마 내식성 제공

주요 고객사

기업 개요

업종

특수 목적용 기계 제조업

대표

김영곤

설립

2016-04-05

본점

경기도 오산시 가장산업서북로 103-14

영문

EST Inc.