디스플레이·반도체 공정용 정전척 제조·재생

이에스티는 디스플레이와 반도체 제조공정에서 기판을 흡착·고정하는 정전척(ESC)을 설계·제조하고 재생(수리·재가공) 서비스를 제공합니다. 주력 제품으로는 대면적 OLED용 APS Coating Type ESC와 모바일 모듈용 PI Film Type ESC가 있습니다. 고객은 디스플레이 패널사와 반도체 FAB, 장비사(예: 삼성디스플레이, 어플라이드 머티어리얼즈)입니다.

수익모델

정전척 신규품 판매 및 재생(수리·재가공) 서비스 매출

고객

삼성디스플레이, 어플라이드 머티어리얼즈 등 디스플레이·반도체 제조사 및 장비사

• 디스플레이 제조장비61.26%
• 반도체 제조장비17.90%
• 모듈부품14.57%
• 글라스코어6.26%
• APS Coating Type ESC

  초대면적 APS 타입 정전척으로 IT OLED 대면적 증착·스퍼터·레이저드릴 공정에 적용됩니다.

  대형 OLED 유리기판의 평탄도 유지·고정으로 증착·가공 공정의 정밀도 향상에 사용됩니다.
• APS Coating Type ESC(재생품)

  기존 APS 정전척의 손상복원·재가공을 통해 교체 없이 공정에 재투입하는 재생 서비스입니다.

  대면적 APS 정전척의 유지보수·수리로 척킹력 복원과 비용 절감을 지원합니다.
• PI Film Type ESC

  모바일용 PI 기반 정전척으로 스마트폰·태블릿용 중소형 OLED·모듈 공정에 적용됩니다.

  모듈용 기판의 흡착·고정으로 소형 패널의 공정 안정화와 수율 관리를 돕습니다.
• 멀티존 Embedded Type Conductor ESC

  전극·히터가 내장된 멀티존 구조의 업그레이드·첨단 반도체 공정용 정전척입니다.

  첨단 식각·증착 공정에서 웨이퍼 고정과 온도 균일도 확보에 사용됩니다.

주요 고객사

기업 개요

업종

특수 목적용 기계 제조업

대표

김영곤

설립

2016-04-05

본점

경기도 오산시 가장산업서북로 103-14

영문

EST Inc.